国家战略性新兴产业发展专项资金计划

“年产1万个高线代平板显示器及先进封装用靶材产业化”项目，列入国家战略性新兴产业发展专项资金计划。

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国家电子信息产业发展基金项目

“超大规模集成电路PVD工艺制造用铝和钽溅射靶材的产业化”项目，列入国家工信部电子信息产业发展基金项目。 

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十一五国家02科技重大专项

“300mm极大规模集成电路用Al、Ti、Ta 靶材制造技术研究与开发”项目，列入十一五国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项（02重大专项..

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国家高技术研究发展计划（863计划）

国家高技术研究发展计划（863计划）引导项目“超大规模集成电路制造用铝和钽溅射靶材产业化关键材料技术研究”项目，列入国家高技术研究发展计划（863计划）引导项目..

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Hitach SU3500扫描电镜

HitachSU3500扫描电镜主要是利用二次电子信号成像来观察金属或非金属材料的表面形态。该仪器对样品尺寸及形状没有限制，可直接观察大试样的原始表面，粗糙表面..

更多 2020-03-06